Εργασιακός σταθμός σωλήνα CVD με πολλαπλές ζώνες αποτελείται από σωλήνα με πολλαπλές ζώνες θέρμανσης, σταθμό ελέγχου ακριβούς μάζας ροής αερίου,Μετρητές και συσκευές για την κατασκευή ηλεκτρικών συσσωρευτών και συσκευές για την κατασκευή ηλεκτρικών συσσωρευτώνTmax 1200 °C, ο τελικός ρυθμός κενού φτάνει τα 10^-7 torr με μονάδες αντλίας κενού μοριακών.Ο σταθμός ελέγχου της ροής αερίου μάζας αναμειγνύει τρία ή περισσότερα είδη αερίου μαζί και εισάγει το αναμεμειγμένο αέριο σε ένα σωλήνα χαλαζία ή μεταλλικά σωλήνες μέσα στο φούρνοΟ φούρνος σωλήνων πολλαπλών ζωνών είναι αρμόδιος για τα πειράματα CVD, διάχυσης και άλλων θερμικών επεξεργασιών υπό κενό και προστασία από την ατμόσφαιρα.
Προσωρινή θέαση για τροχαίο φούρνο σωλήνων 1200C
Αριθμός μοντέλου. | ΠΤΚ D120/1000/12/3 |
Ζώνη θέρμανσης |
Τέσσερις ζώνες θέρμανσης |
Ηλεκτρική τροφοδοσία | 15KW AC380-415V, 50/60Hz, 3 φάσεις |
Θερμοκρασία λειτουργίας |
Tmax 1200°C (2192°F) |
Ρυθμιστής θερμοκρασίας |
ΣιμάντενΕλεγκτής PID |
Δυνατότητα θέρμανσης | ≤ 25°C /min |
Θερμοσύνθεση | Τύπος N |
Εφοδιασμός θαλάμου | Πηγή της MitsubishiΠίνακες από ίνες υψηλής οξυγόνου του υδρογόνου 1500# |
Σωλήνες φούρνου |
Υλικό: Κουαρτς ή μέταλλο |
Άλλες συσκευές για την κατασκευή ηλεκτρικών συσκευών |
Σφραγίδες σφράγισης SS304 |
Επίπεδο κενού |
Μαξ 10E-7 torr με μοριακή αντλία |
Θερμαντικό στοιχείο |
Σύρμα περιστροφής αντίστασης HRE |
Πληροφορίες αποστολής | Βάρος: 660 kg W2150xL1200xH1360mm |
Συμμόρφωση | CE, ISO |
Εγγύηση | 18 μηνών περιορισμένη εγγύηση με τεχνική υποστήριξη για όλη τη ζωή |
Ονομασία του αντικειμένου | ΠΤΚ D40/440/12 | ΠΤΚ D80/440/12 | ΠΤΚ D100/440/12 |
μήκος θέρμανσης | 440 χιλιοστά | 440 χιλιοστά | 440 χιλιοστά |
Μέγεθος σωλήνα | OD40xL800mm | OD80xL1000mm | ΟΔ100xL1000mm |
Δύναμη | 4 KW | 7 KW | 8 KW |
Καθαρό βάρος | 108 KGS | 275 KGS | 360 KGS |