1700C υψηλή θερμοκρασία 3 ζώνες Εργαστήριο CVD κενό σωλήνα φούρνο με OD60mm σωλήνα αλουμινίου

Επισκόπηση του προϊόντος

Ο PTC D60/600/17/3 είναι πιστοποιημένος από το CE φούρνος σωλήνων 60 mm OD 3 ζωνών με πλήρη φλάντσα σφράγισης κενού.Κάθε ζώνη θέρμανσης είναι 12 "σε μήκος και ελέγχεται από τρεις ακρίβεια 30 τμήματα των ψηφιακών ρυθμιστών θερμοκρασίας ανεξάρτηταΜια ζώνη (κεντρική ζώνη) θερμαίνεται από στοιχεία Super-1800 MoSi2 έως 1700°C και άλλες δύο ζώνες θερμαίνονται από στοιχεία SiC έως 1400°C.Ο φούρνος σωλήνα μπορεί να δημιουργήσει τις διάφορες θερμικές κλίση ρυθμίζοντας τρεις ζώνες θερμοκρασίαΕίναι ένας εξαιρετικός φούρνος για την προετοιμασία λειτουργικών υλικών υπό θερμική κλίση και μπορεί επίσης να χρησιμοποιηθεί για την ανάπτυξη επιταξιακών ταινιών από CVD.

Βασικά χαρακτηριστικά

• Περιοχή θερμοκρασίας λειτουργίας 1200°C-1700°C
• Δύο δομές από χάλυβα, ελάχιστη απώλεια θερμότητας. Τρεις ζώνες θέρμανσης, ανεξάρτητα ελεγχόμενες
• 990,6% σωλήνα αλουμινίου με σφραγίδες σφραγίδας SS304 με γρήγορο άνοιγμα και ψύξη με νερό
• Τα ισχυρά θερμαντικά στοιχεία MoSi2 εξασφαλίζουν ομοιόμορφη θερμοκρασία
• Τυποποιημένος θάλαμος με ίνες για τη μέγιστη σταθερότητα θερμοκρασίας και ομοιότητα
• Ψηφιακός ελεγκτής PID με προγραμματιζόμενα 30 τμήματα
• Ατομικό σύνολο συσκευών παροχής αερίου, διαθέσιμη ανάμειξη αερίου με Ar, N2 CO, H2 κλπ.
• Τερμοσύνδεσμο τύπου Β μακράς διάρκειας
• Πιστοποιημένο CE

Μέτρα ασφαλείας

• Ενσωματωμένο μετρητή και διπλό μετρητή βολτ για εύκολη παρακολούθηση και αντιμετώπιση προβλημάτων.
• Η προστασία από υπερθέρμανση κλείνει το φούρνο εάν η θερμοκρασία είναι εκτός αποδεκτού εύρους (βλ. εγχειρίδιο του ελεγκτή) ή όταν το θερμοσύνδεσμο είναι σπασμένο ή λειτουργεί λανθασμένα.
• Η προστασία από βλάβη ρεύματος επαναλαμβάνει τη λειτουργία του κλιβάνου αμέσως μετά το σημείο βλάβης, όταν αποκατασταθεί η ρεύμα.
• Ο έλεγχος PID με βάση τον μικροεπεξεργαστή παρέχει βέλτιστη θερμική διαδικασία με ελάχιστη υπερέκταση

Λεπτομέρειες για το προϊόν

Φούρνος με κενό σωλήνα υψηλής θερμοκρασίας CVD 1700°C τριών ζωνών

• Το φούρνο σωλήνα CVD υψηλής θερμοκρασίας 1700C αποτελείται κυρίως από πέντε μέρη: σώμα φούρνου, σωλήνα φούρνου, εξαρτήματα σφράγισης φλάντζας, σύστημα τροφοδοσίας αερίου,σύστημα κενού και σύστημα ελέγχου θερμοκρασίας
• Το εξωτερικό κέλυφος από χάλυβα του φούρνου επεξεργάζεται με ακινητοποίηση και φωσφορμάτωση, στρώση σκόνης περιβάλλοντος στην επιφάνεια, αντοχή στη διάβρωση και την οξείδωση, ενσωματωμένος ανεμιστήρας ψύξης,θερμοκρασία επιφάνειας Rt+45°C
• συμμόρφωση ISO, CE

Προφίλ θαλάμου για φούρνο σωλήνων υψηλής θερμοκρασίας CVD 1700 °C 3 ζώνες

• Υψηλή κεραμική μόνωση αλουμινίου, χαρακτική CNC, στενή σύνδεση των τοίχων του θαλάμου, θερμαντήρας MoSi2 τύπου U, ανθεκτικός σε θερμοκρασία έως 1800C
• Διάστημα θέρμανσης 600 mm, κατάλληλο για σωλήνα αλουμινίου διαμέτρου 60 mm.Το κρίσιμο μέρος της ζώνης θέρμανσης στο εσωτερικό του σωλήνα του φούρνου είναι εξοπλισμένο με το πρίζο του κεραμικού σωλήνα, η οποία μπορεί να αποτρέψει αποτελεσματικά την απόδραση της θερμότητας και να μειώσει τις απώλειες θερμότητας.
• Θερμοσύνδεσμο τύπου Β

Γρήγορα ανοίγματος φλάντζη, στήριξη σωλήνα φούρνο, 1/4 "παγόδα αέριο ακροφύσιο, μονάδα αντλίας κενού

• Εξοπλισμένα με υδροψυκτικό φλάντζο SS304 με γρήγορο άνοιγμα για ταχεία φόρτωση και εκφόρτωση υλικών, σφραγισμένα με σφραγιστικά δαχτυλίδια φθοριούχου ελαστικού ανθεκτικού σε υψηλές θερμοκρασίες
• Η είσοδος και έξοδος αέρα υιοθετεί G1 / 4 ιντσών αεραγωγός παγόδας, ο οποίος μπορεί να συνδεθεί με έναν σωλήνα PTFE με εξωτερική διάμετρο 8 mm.
• Συνδεδεμένη μονάδα μοριακής αντλίας με KF25, βεβαιωθείτε ότι το επίπεδο κενού φτάνει τα 10 *-5mbar

Προγράμματα θέρμανσης για φούρνο σωλήνων 1700°C CVD HIGH TEMP 3 ZONES

• Προγραμματισμένα 30 τμήματα, ρυθμός θέρμανσης 1-10C/min ελεύθερα ρυθμιζόμενο
• Καλή θερμική μόνωση, φυσική ψύξη, απαλή ψύξη
• 7 "πατητή οθόνη είναι προαιρετική, προγράμματα θέρμανσης μπορεί να εμφανιστεί έγκαιρα, και να κατεβάσει

ΤΤεχνικές προδιαγραφές

Σημειώσεις για την αίτηση

• Η πίεση του σωλήνα επεξεργασίας πρέπει να είναι χαμηλότερη από 0,02MPa
• Η πηγή αερίου πρέπει να εξοπλίζει την βαλβίδα μείωσης πίεσης
• Πριν από την πλήρωση των αερίων μείωσης όπως H2, θα πρέπει να αντλεί τον αέρα έξω από το σωλήνα
• Κατά την πλήρωση αερίων από την είσοδο αερίου στο σωλήνα, θα πρέπει να βεβαιωθείτε ότι η βαλβίδα εξόδου αερίου ανοιχτή

Σύγκριση μεγέθους