Φούρνος σωλήνα κενού 3 ζωνών CVD 1700C με MFC μίξερ αερίων και μονάδα μοριακής αντλίας

Επισκόπηση του προϊόντος

Το PT D80/1500/17/3 είναι ένας φούρνος σωλήνων υψηλής κενότητας CVD τριών ζωνών υψηλής θερμοκρασίας.3 κανάλια MFC ακριβώς ελεγχόμενη ανάμειξη αερίων. 304SS φλάντζες ψύξης νερού με βαλβίδες βελόνων και μετρητή, πολλαπλές εισόδους και εξόδους αέρα για διάφορα αέρια.Υιοθετεί ένα σύστημα αυτοπροσαρμογής θερμοκρασίας Yudian PID βασισμένο σε μικροεπεξεργαστή με ακρίβεια ελέγχου θερμοκρασίας +/- °CΤο φούρνο σωλήνων υψηλού κενού 3 ζώνων χρησιμοποιείται κυρίως για συμπύκνωση κενού και ατμοσφαιρικής προστασίας,επικαλυπτόμενη με λεπτή ταινία κενού, πειράματα καρδιαγγειακών παθήσεων κλπ.

Βασικά χαρακτηριστικά

• Tmax 1700°C
• 3 ζώνη θέρμανσης υψηλού κενού, φούρνος σωλήνα CVD
• Διπλή δομή από χάλυβα, ελάχιστη απώλεια θερμότητας
• Μονάδα μοριακής αντλίας, μέγιστο επίπεδο κενού έως 10-5 torr
• Μετρητής αερίου με έλεγχο MFC 3 καναλιών
• Τυποποιημένος θάλαμος με θερμαντικά στοιχεία MoSi2 για τη μέγιστη σταθερότητα και ομοιόμορφη θερμοκρασία
• Σφραγισμένες φλάντζες ψύξης νερού 304SS
• Ψηφιακός ελεγκτής PID με προγραμματισμό 30 τμημάτων με ακρίβεια +/- 1°C
• Θερμοσύνδεσμο τύπου Β
• ISO, CE

Μέτρα ασφαλείας

• Ενσωματωμένο μετρητή και διπλό μετρητή βολτ για εύκολη παρακολούθηση και αντιμετώπιση προβλημάτων.
• Η προστασία από υπερθέρμανση κλείνει το φούρνο εάν η θερμοκρασία είναι εκτός αποδεκτού εύρους (βλ. εγχειρίδιο του ελεγκτή) ή όταν το θερμοσύνδεσμο είναι σπασμένο ή λειτουργεί λανθασμένα.
• Η προστασία από βλάβη ρεύματος επαναλαμβάνει τη λειτουργία του κλιβάνου αμέσως μετά το σημείο βλάβης, όταν αποκατασταθεί η ρεύμα.
• Ο έλεγχος PID με βάση τον μικροεπεξεργαστή παρέχει βέλτιστη θερμική διαδικασία με ελάχιστη υπερέκταση

Λεπτομέρειες για το προϊόν

Φούρνος σωλήνα κενού 1700°C CVD 3 ζώνης με μικτή συσκευή ανάμιξης αερίων MFC και συσκευή ψύξης με νερό

• Το PT D80/1500/17 αποτελείται κυρίως από επτά μέρη: σώμα φούρνου, σωλήνα φούρνου, εξαρτήματα σφράγισης φλάντζας, σύστημα παροχής αερίου, σύστημα ψύξης νερού,σύστημα αντλίας κενού και σύστημα ελέγχου θερμοκρασίας
• Το εξωτερικό κέλυφος από χάλυβα του φούρνου επεξεργάζεται με ακινητοποίηση και φωσφορμάτωση, στρώση σκόνης περιβάλλοντος στην επιφάνεια, αντοχή στη διάβρωση και την οξείδωση, ενσωματωμένος ανεμιστήρας ψύξης,θερμοκρασία επιφάνειας Rt+45°C
• Εξαιρετική εμφάνιση, συμμόρφωση ISO, CE

Προφίλ θαλάμου για φούρνο σωλήνα υψηλού κενού 1700°C CVD 3 ζώνες

• Υψηλή κεραμική μόνωση αλουμινίου, χαρακτική CNC, στενή σύνδεση των τοίχων του θαλάμου, θερμαντήρας MoSi2 τύπου U, ανθεκτικός σε θερμοκρασία έως 1800C
• Διάστημα θέρμανσης 600 mm, κατάλληλο για σωλήνα αλουμινίου διαμέτρου 60 mm.Το κρίσιμο μέρος της ζώνης θέρμανσης στο εσωτερικό του σωλήνα του φούρνου είναι εξοπλισμένο με το πρίζο του κεραμικού σωλήνα, το οποίο μπορεί να αποτρέψει αποτελεσματικά την απόδραση της θερμότητας και να μειώσει τις απώλειες θερμότητας
• Θερμοσύνδεσμο τύπου Β

Φλάντζη ψύξης νερού, 1/4 ιντσών βρύση αερίου παγόδας, Μονάδα αντλίας κενού μοριακού

• Εξοπλισμένο με σύνολο φλάντζων ψύξης με νερό SS304, σφραγισμένο με αλυσίδες σφραγίσματος από φθοριούχο καουτσούκ ανθεκτικό σε υψηλές θερμοκρασίες
• Η είσοδος και έξοδος αέρα υιοθετεί G1 / 4 ιντσών αεραγωγός παγόδας, ο οποίος μπορεί να συνδεθεί με έναν σωλήνα PTFE με εξωτερική διάμετρο 8mm
• Συνδεδεμένη μονάδα μοριακής αντλίας με KF25, βεβαιωθείτε ότι το επίπεδο κενού φτάνει τα 10 *-5mbar

Προγράμματα θέρμανσης για φούρνο σωλήνων 1700°C CVD HIGH TEMP 3 ZONES

• Προγραμματισμένα 30 τμήματα, ρυθμός θέρμανσης 1-10C/min ελεύθερα ρυθμιζόμενο
• Καλή θερμική μόνωση, φυσική ψύξη, απαλή ψύξη
• 7 "πατητή οθόνη είναι προαιρετική, προγράμματα θέρμανσης μπορεί να εμφανιστεί έγκαιρα, και να κατεβάσει

ΤΤεχνικές προδιαγραφές

Σημειώσεις για την αίτηση

• Η πίεση του σωλήνα επεξεργασίας πρέπει να είναι χαμηλότερη από 0,02MPa
• Η πηγή αερίου πρέπει να εξοπλίζει την βαλβίδα μείωσης πίεσης
• Πριν από την πλήρωση των αερίων μείωσης όπως H2, θα πρέπει να αντλεί τον αέρα έξω από το σωλήνα
• Κατά την πλήρωση αερίων από την είσοδο αερίου στο σωλήνα, θα πρέπει να βεβαιωθείτε ότι η βαλβίδα εξόδου αερίου ανοιχτή

Σύγκριση μεγέθους